名古屋大学

研究所施設

エネルギー変換エレクトロニクス実験施設

エネルギー変換エレクトロニクス実験施設は、名古屋大学未来材料・システム研究所のクリーンルーム実験棟です。本施設は、GaN研究における結晶成長・デバイスプロセス・評価を同一スペースで行える約1,000㎡(クラス1,000:露光エリア、クラス10,000:プロセスエリア)の大空間クリーンルームを有し、研究開発の加速を図ります。

エネルギー変換エレクトロニクス実験施設
特 長
(1)GaNに特化したサブミクロン加工プロセスライン
  • 結晶成長から電極形成までアンダーワンルーフでGaNパワーデバイスをスループロセス
  • i 線ステッパをはじめとした、サブミクロンに対応した充実した加工設備
  • 専任の技術員による運営管理、プロセス受託
  • 多様な料金設定による設備共用システム
(2)ターゲットデバイス
  • GaN on GaN 縦型パワーデバイス
  • GaN 系光デバイス
  • AlGaN/GaN 横型HEMT デバイス
  • GaN 未来デバイス
須田 淳

施設長

須田 淳

教授(工学部)

恩田 正一

副施設長

恩田 正一

特任教授

加地 徹

副施設長

加地 徹

特任教授

笹岡 千秋

管理室長

笹岡 千秋

井手 公康

井手 公康

研究員

近藤 健

近藤 健

研究員

戸谷 真悟

戸谷 真悟

研究員

西井 勝則

西井 勝則

研究員

林田 哲郎

林田 哲郎

研究員

松谷 哲也

松谷 哲也

研究員

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超高圧電子顕微鏡施設

超高圧電子顕微鏡施設
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM1000K RS

名古屋大学では、1965年に我が国で初めて50万ボルトの電子顕微鏡が設置されて以降、世界を先導する超高圧電子顕微鏡開発研究の隆盛を見るに至りました。特に2010年に設置された、新しい「反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡」は、ガス中での各種の反応や現象を観察することが出来るため、環境・エネルギー関連材料の開発研究に適し、グリーンイノベーションに大いに貢献することのできる装置です。本施設は現在、その他の最先端電子顕微鏡群を有する共同利用研究施設として、本学の研究者はもとより共同研究を通して全国の大学、研究所、産業界の研究者にも共用されています。今後国際的な電子顕微鏡の研究センターとして、さらに機能の充実を図っていきます。

オリジナルWEBページ

超高圧電子顕微鏡施設 紹介ビデオ
超高圧電子顕微鏡施設紹介ビデオショート版

ショート版(1分)

超高圧電子顕微鏡施設紹介ビデオロング版

ロング版(6分24秒)

武藤 俊介

施設長

武藤 俊介

教授

齋藤 晃

齋藤 晃

教授

桒原 真人

桒原 真人

准教授

長尾 全寛

長尾 全寛

准教授

荒井 重勇

荒井 重勇

特任准教授

山本 悠太

山本 悠太

技術職員

樋口 公孝

樋口 公孝

技術職員

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先端技術共同研究施設

先端技術共同研究施設
先端技術共同研究施設のクリーンルーム

先端技術共同研究施設のクリーンルーム等には、分子線エピタキシー、CVD、スパッタリング等の成膜装置、マスクアライナ、電子線描画装置、ICPエッチング装置等の微細加工装置、SEM、ESCA、原子間力顕微鏡、薄膜X線回折等の分析装置など多くの先端的な機器が設置されており、各種材料の薄膜形成から、マイクロ/ナノ加工、さらに表面分析まで幅広い研究に活用されております。また、文部科学省の微細加工ナノプラットフォーム事業によるナノ材料・ナノ加工に関する技術支援を推進しており、学内外の多くの研究者に利用されています。

オリジナルWEBページ

先端技術共同研究施設 紹介ビデオ
先端技術共同研究施設紹介ビデオショート版

ショート版(1分)

先端技術共同研究施設紹介ビデオショート版

ロング版(6分33秒)

大野 雄高

施設長

大野 雄高

教授

岩田 聡

岩田 聡

教授

中塚 理

中塚 理

教授(工学部)

加藤 剛志

加藤 剛志

准教授(工学部)

大島 大輝

大島 大輝

特任助教

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